Produktfunktioner
Vigor VMB Valve Manifold Box er et modulært gasfordelings- og kontrolsystem, der er specifikt designet til elektronisk kvalitet i elektronisk kvalitet (såsom CF₄, SF₆, AR, HE osv.). Ved at integrere flere ventiler, intelligent overvågning og cleanroom-grade samling sikrer det gasrenhed, stabilitet og sikkerhed under distribution. Det er vidt brugt i halvlederfremstilling, fotovoltaisk energiproduktion, forskningslaboratorier og andre felter, der kræver præcis gasstyring.
Tekniske specifikationer
| Kategori | Parameterdetaljer |
|---|---|
| Model: | VMB Ventilmanifoldboks |
| Relevante gasser: | Inerte gasser (CF₄, SF₆, CHF₃, AR, HE osv.) |
| Gasforsyningstilstand: | Enkeltcylinder \/ dobbeltcylindret konfiguration valgfri |
| Strømforsyning: | 110 ~ 240V AC |
| Materiale: | Ventiler og slangekomponenter: SS 316L |
| Beskyttelsesniveau: | Semi S2-kompatibel, korrosionsbestandig design |
Kernefunktioner og funktioner
Effektiv gasfordeling
1)Understøtter en-cylindret eller dobbeltcylindret konfiguration med valgfri automatisk overgang til kontinuerlig, uafbrudt gasforsyning.
2) Indbygget multi-ventil design til fleksibelt at imødekomme komplekse gasfordelingsbehov.
Høj renlighed og forsegling
1)Ventiler og slange er lavet af SS 316L -materiale; Hele systemet er samlet i et rentrum i klasse 100 for at forhindre partikelforurening.
2) Standard for heliumlækage: Lækagehastighed mindre end eller lig med 1 × 10⁻⁸ Mbar · L\/s He, opfylder krav til ultrahøj forsegling.
Intelligent kontrol
1)Valgfrit PLC -kontrolsystem, der understøtter Modbus -kommunikationsgrænseflade til integration i smarte overvågningsplatforme, hvilket muliggør fjernbetjening og datastyring.
2) Berøringsskærmskærm til realtidsovervågning af cylindertryk, gasstrømningshastighed og alarmstatus med en intuitiv brugergrænseflade.
Flere sikkerhedsbeskyttelse
1)Høj\/lavt tryk hørbare og visuelle alarmer, der automatisk udløser nødgasafslutning.
2) Valgfri udluftnings- og rensningsfunktioner, integreret med en sikkerhedsaflastningsenhed for at forhindre overtryk.
3) Overholder Semi S2 -standarder og internationale brandsikkerhedskoder med maksimalt arbejdstryk op til 110% af testtrykket.
Anvendelse
1)Halvlederfremstilling:Præcis fordeling af inerte gasser med høj renhed til ætsning og deponeringsprocesser.
2)Fotovoltaisk industri:Stabil forsyning af specialgasser (såsom SF₆) til produktion af solcellepanel.
3)Forskningslaboratorier:Centraliseret kontrol og styring af flerkanals gaseksperimenter.
4)Biofarmaceutisk industri:Sikker transmission og distribution af inerte gasser i sterile miljøer.
Tegninger
Semi-automatisk
Systemet inkluderer automatisk lukning og rensningsfunktioner med en 3\/8 "hovedlinie og 1\/4" grenlinjer (1 indløb, 4 forretninger). Den har PLC -kontrol, en 7- tommer berøringsskærmsgrænseflade og regulering af grenlinjepress. Derudover er systemet udstyret med paneloverfladeopvarmning til forbedret ydelse.
Mannul
Systemet inkluderer manuel gasforsyning og procesrensningsfunktioner med en 3\/8 "hovedlinie og 1\/4" grenlinjer (1 indløb, 4 forretninger). Den har regulering af filiallinjepress for optimal kontrol.
FAQ
Q1: Hvordan skifter systemet mellem enkelt- og dobbeltcylindret konfigurationer?
A: Konfigurationen af dobbeltcylindret understøtter automatisk overgang (kræver PLC-modul). Når den primære cylinders tryk falder, skifter systemet automatisk til backup -cylinderen for at sikre kontinuerlig forsyning.
Q2: Hvordan opdages gaslækage?
A: Systemintegritet verificeres via heliummassespektrometri -lækagedetektion. Daglig overvågning kan udføres gennem unormale tryktrends eller alarmopskrivninger, der vises på berøringsskærmen.
Q3: Kan berøringsskærmen eksportere historiske data?
A: Standard touchscreen understøtter realtidsdata-display. Hvis der er udstyret med et PLC -modul, kan data eksporteres i CSV -format via en USB -interface eller kommunikationsprotokoller (såsom Modbus).
Q4: Hvad er den anbefalede vedligeholdelsescyklus?
A: Det anbefales at inspicere ventilforsegling og lækagehastigheder hver sjette måned og kalibrere tryksensorer årligt. I miljøer med højfrekvent brug bør inspektioner udføres hver tredje måned.
Q5: Understøtter systemet ætsende gasser?
A: Denne model er designet til inerte gasser. Hvis der skal håndteres korrosive gasser (f.eks. HCI), kræves tilpasning med duplex rustfrit stålmaterialer og specielle tætninger. Kontakt teknisk support for detaljer.
Spørgsmål 6: Hvad skal der overvejes under installationen?
A: Sørg for et rent og vibrationsfrit installationsmiljø, reserveffekt og udstødningsforbindelser, og sørg for, at gascylinderområdet opfylder det bærende krav (større end eller lig med 500 kg\/m²).
Konklusion
Vigor VMB Valve Manifold Box (VMB) tilbyder pålidelige løsninger til gasstyring med høj renhed gennem præcisionskontrol og strenge sikkerhedsstandarder. For tilpassede konfigurationer eller detaljerede tekniske specifikationer, bedes du kontakte det officielle Vigor Service Team.
Populære tags: Vigor Specialitet VMB Valve Manifold Box, China Vigor Specialitet VMB Valve Manifold Box Producenter, leverandører
