For det samme stykke 316L rustfrit stålrør kan priserne variere flere gange. Hemmeligheden ligger ikke i vægtykkelsen, men i den indre overflade. Jo højere den nødvendige gasrenhed er, desto strengere stilles kravene til slangens indre "hud". De tre betegnelser AP, BA og EP repræsenterer tre branchedefinerede klassificeringsstandarder for indvendige røroverflader.
▌Grade 1: AP - Den grundlæggende mekanisk bearbejdede kvalitet
AP (Acid Pickling)-slanger gennemgår syrebejdsning for at fjerne overfladebelægninger og forurenende stoffer, hvilket resulterer i en relativt ru indvendig overflade. Den er beregnet til generelle industrielle gasrør. Dens fordele er lave omkostninger og kort leveringstid, velegnet til applikationer med krav til løse partikler og urenheder, såsom almindelige trykluft- og nitrogenudskylningsledninger.
▌Klasse 2: BA - Den højrente, blankglødede kvalitet
BA (Bright Annealing)-rør udglødes under hydrogenatmosfære eller vakuum for at danne en tæt passiv film på overfladen, hvilket opnår en ruhed på indersiden på Ra＜0,4 μm. Sammenlignet med AP-rør leverer BA-rør glattere overflader, overlegen korrosionsbestandighed og markant reduceret adsorption af partikler og fugt. Det er bredt udbredt til gastransport med høj renhed.
▌Klasse 3: EP - Den førsteklasses elektropolerede kvalitet
EP (Electro-Polishing) slanger er yderligere elektropoleret på basis af BA-behandling. Når slangen fungerer som anode, opløses overfladetoppe i elektrolyt for at udjævne den indre overflade, hvilket giver en ruhed på 5-10 μin Ra (ca. . 0.13-0,25 μm). Elektropolering leverer en spejlglat indvendig overflade, eliminerer resterende metalliske partikler og procesinduceret forurening og genererer et kromrigt passivt lag - et obligatorisk krav til slanger, der bruges i halvledergassystemer med ultra-høj renhed.
VIGOR - Hvorfor EP er obligatorisk for halvledere
Ved fremstilling af wafer kan selv små metalliske partikler eller fugtmolekyler udvasket fra rørvægge udløse wafer-defekter. En ru overflade virker som en snavsfangende svamp: den absorberer fugt og urenheder, som derefter langsomt frigives over tid. I modsætning hertil efterlader den glatte, tætte EP-overflade ingen steder, hvor partikler og fugt kan klæbe, og reducerer drastisk udrensnings- og udskiftningscyklustiden. EP-rør danner den første fysiske barriere, der sikrer renhed til gasdistribution med ultrahøj renhed.
Tre-grads sammenligning og tilsvarende VIGOR-produkter
| Grad | Behandle | Overfladeruhed | Typiske applikationer | VIGOR Tilsvarende |
|---|---|---|---|---|
| AP karakter | Syrebejdsning og passivering | Relativt groft | Generelle industrigasrør | VTUBE-serien (AP-kvalitet) |
| BA karakter | Lys udglødning | Ra < 0,4 μm | Gasser med høj renhed, elektroniske kemikalier | VTUBE-serien (BA-grad) |
| EP karakter | Elektropolering | 5-10 μin. Ra | Halvleder-gaskredsløb med ultrahøj renhed | VTUBE-serien (EP-kvalitet), VUPS Ultra-High-Purity-produkter |
Det er værd at bemærke, at materialekvalitet og overfladebehandling er kumulative specifikationer. VIGOR VUPS serie med ultra-høj renhed: UB-modellen bruger standard 316L substrat med 10/25 μin Ra overfladefinish; UC-modellen er opgraderet til omsmeltet 316L substrat med 5/7/10 μin Ra overfladefinish. Både materialets renhed og overfladeglathed er forhøjet for at optimere ydeevnen på den indre overflade. Når du vælger slange, bør et nøglespørgsmål overvejes: Hvilken type "skind" på den indre overflade matcher dit krav til gasrenhed?
